本發明是根據低溫等離子刻蝕機凈化基本原理和機械離心基本原理設計而成，關鍵由離心分離機段、高(效)過濾段、低溫等離子體刻蝕機凈化部分、消聲部分組成。等離子體刻蝕機的清潔基本原理是在真骨腔內，根據頻射開關電源在相應工作壓力飄起輝，形成較高能的混亂等離子體，根據等離子體躍遷清潔被刻蝕的產品表面，實現清潔。

      等離子體是一種凝集物質。高能量電子與油煙分子相撞時，會發生一系列基本物理化學作用，并在作用歷程中形成各種特異性氧自由基和生態氧，即臭氧分解形成的原子氧。活性氧能有效地破壞各種病毒和細菌性中的核酸和蛋白質，使其不能進行正常代謝和生物合成，從而導致其死亡；同時，生態氧能迅速分解或降低油煙分子的氣味氣體，使之成為無害的低分子物質。
1.等離子刻蝕機離心化部分：采用機械除油工藝，利用風機氣體動力凈化油煙。應用流體力學雙向流動理論，實現了油煙在葉輪中的分離。葉輪盤與葉片之間根據改變葉片角度和形狀來積累油煙分子。粉塵為顆粒狀焊接煙塵，被離心力拋入箱體內壁，由漏水油管流出。
2.等離子刻蝕機高(效)過濾消聲段：經過前端處置后，大部分粉塵被除去，而逸出的微米煙經高(效)過濾段(粗濾和細濾)處置后，被過濾，其余亞微米焊接煙塵顆粒及煙氣中有毒有害物質及氣味進入低溫等離子體凈化段。具有吸聲降噪功能，能有效地控制設備的整體噪聲。
3.低溫等離子體刻蝕機凈化段：該部分主要是采用電暈放電方法形成高濃度的離子，再用等離子體使煙氣中的微粒以正負電荷形式穿過電場。煙道氣中的微粒經電場吸引、凝聚，單個體積增大并堆積成較大的沉降物，從而凈化煙氣，有效收集小型至亞微米大小的油煙顆粒。有別于直接在電場板上吸附油煙顆粒的靜電凈化方式，可以延長電場的有效工作時間，實現低碳運行。
4.等離子刻蝕機末端設置有獨立的消聲段，采用優質玻璃纖維消聲材料，采用內孔網架結構體系，使聲波很容易有效地進入纖維體內，將聲能轉化為振動能，保證設備噪音得到降低。
低溫等離子體刻蝕機工藝的特性不是分處置目標的基材類型，對金屬、半導體、氧化物和大部分高分子材料均可進行處置，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、PVC、環氧、甚致聚四氟乙烯等處置良好，能夠實現整體、局部及復雜結構的清潔。