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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)

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誠(chéng)峰智造-CRF_等離子清洗機(jī)是怎樣快速清(除)物件表面的殘留膠渣

誠(chéng)峰智造-CRF_等離子清洗機(jī)是怎樣快速清(除)物件表面的殘留膠渣:
       誠(chéng)峰智造-CRF_等離子清洗機(jī)應(yīng)用包括處理、灰化/光刻膠/聚合物去除、介電質(zhì)刻蝕等等。CRF-等離子清洗機(jī)不僅能完全清除光刻膠等有(機(jī))物,還能活(化)單晶硅片表面,改善單晶硅片表面的滲透性。僅需簡(jiǎn)單地對(duì)等離子清洗裝置進(jìn)行處理,就可清除(完全)自由基高分子聚合物,包括隱藏在非常深而尖細(xì)的溝槽中的聚合物。達(dá)到其他清理方式很難完成的效(果)。 

等離子清洗機(jī)


       在半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)過程中,單晶硅片芯片表面會(huì)有各種顆粒、金屬離子、有機(jī)物和殘留物等污染雜質(zhì)。為了避免污染物對(duì)芯片處理性能的嚴(yán)重影響和缺陷,半導(dǎo)體單晶硅片在制造過程中需要經(jīng)過多次表面清洗步驟,而誠(chéng)峰智造-CRF_等離子清洗機(jī)是單晶硅片光刻膠的理想清洗設(shè)備。
        電漿是通過電場(chǎng)加速,在電場(chǎng)作用下高速運(yùn)動(dòng),使物體表面發(fā)生物理碰撞,產(chǎn)生足夠的等離子能量來清除各種污染物。誠(chéng)峰智能制造-CRF_等離子清洗機(jī)不需要其他原材料,只要空氣能滿足要求,使用方便,無污染。同時(shí),它比超聲波清洗更有優(yōu)勢(shì)。等離子不僅可以清洗表面,還可以提高表面活性。等離子體與物體表面的化學(xué)反應(yīng)能產(chǎn)生有活力的化學(xué)物質(zhì)。這些化學(xué)集團(tuán)活性高,應(yīng)用廣泛,如提高材料表面粘接能力、焊接能力、邦定性、親水性等。

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